多晶圭廢氣凈化方案
一、廢氣污染源工況
硅料酸洗車間需用硝酸和氫氟酸對多晶硅進行清洗，多晶硅酸洗廢氣主要為HF、HCL、氮氧化合物。
二、凈化工藝
凈化工藝有：液體中和固體吸附法。
液體中和吸收法主要是利用酸堿中和原理對HF、HCL、氮氧化合物進行凈化。
固體吸附法是采用吸附的原理對HF、HCL、氮氧化合物進行吸附吸收，吸附劑為活性炭。
三、我們的凈化方案
針對多晶硅酸洗廢氣特點，結合我們給老客戶的廢氣處理工程實踐經(jīng)驗和客戶運行經(jīng)驗，摸索出一套針對單晶硅酸洗廢氣的排風凈化工藝和設備。酸洗廢氣采用多級串聯(lián)吸收方式吸附凈化。
1、凈化工藝流程圖（見附圖1）
2、凈化工藝簡介
凈化流程采用濕法和干法相結合多極凈化方式。廢氣首先進入*級填料塔，吸收溶液為3%氫氧化鈉，對含HF、HCL、氮氧化合物廢氣進行初步吸收，合理控制氣液接觸時間。經(jīng)初步吸收后的廢氣進入第二級填料塔，吸收溶液為3%氫氧化鈉，在第二級填料塔后安裝高效除濕裝置，祛除水汽。脫水后的廢氣進入干式吸收塔，吸收塔內(nèi)為活性炭吸附劑。*、二級填料塔中的廢水經(jīng)管道排入污水處理站，干式吸收塔的吸附劑飽和后更換，廢吸附劑作為無害垃圾可用于填坑或修路等，無二次污染。
五、設備參數(shù)
2、凈化工藝簡介凈化流程采用濕法和干法相結合多極凈化方式。廢氣首先進入*級填料塔，吸收溶液為3%氫氧化鈉，對含HF、HCL、氮氧化合物廢氣進行初步吸收，合理控制氣液接觸時間。經(jīng)初步吸收后的廢氣進入第二級填料塔，吸收溶液為3%氫氧化鈉，在第二級填料塔后安裝高效除濕裝置，祛除水汽。脫水后的廢氣進入干式吸收塔，吸收塔內(nèi)為活性炭吸附劑。*、二級填料塔中的廢水經(jīng)管道排入污水處理站，干式吸收塔的吸附劑飽和后更換，廢吸附劑作為無害垃圾可用于填坑或修路等，無二次污染。五、設備參數(shù)
